一、产品应用：

JS-600M小型磁控溅射仪采用二极（DC）直流溅射原理设计，带磁控靶头，有水冷功能。设备操作简单方便，适用于扫描电子显微镜（SEM）样品制备,非导体材料实验电极的制作。

磁控溅射为冷溅射，对样品表面的升温较低，适用对温度较敏感的薄膜样品。用户可以根据自己的需要自行选择不同的真空条件，溅射电流。大尺寸的真空腔体设计，满足大样品的溅射需求。标配一片金靶，纯度为99.999%，为获得高质量的金膜提供了良好的基础。

二、配置及技术指标：

1.本系统装配了水冷却磁控靶，靶面直径为50mm；

2.主机规格：L360mm*W300mm*H380mm；

3.靶（上部电极）：金：直径：50mm，厚度：0.1mm；

4.真空样品室：直径：160mm，高：110mm；

5.溅射面积：Ф50mm；

6.工作真空：2×10-1—6×10-2 mbar；

7.离子电流表：0-100mA；

8.定时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间；

9.针阀： 配有进气口，微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管；

10.工作室工作媒介气体：空气或氩气等多种气体；

11.溅射电压：-1600 DCV；

12.飞跃真空泵（VRD-4）：1.1L/S。

三、产品特点：

1.轻便、溅射面积大；

2.可以溅射铂、金、银及氧化锌；

3.溅射效率高，可水冷降温；

备注：JS-600M小型磁控溅射仪可适用的靶材：金、铂、银。

南京舜仪实验设备有限公司是由南京和同创业科技有限责任公司变更而来，拥有“舜仪”和“SAINTINS”等注册商标。公司致力于等离子体相关产品的开发，目前主要生产小型离子溅射和小型磁控溅射，获得客户广泛认可。随着对行业的不断深入，期待能够推出更多质优价廉的设备，为我们的仪器行业添砖加瓦。

我们追求的目标是为用户提供满意的产品及服务，以重诺守信，严谨求实，目光远大的行为为准则。“舜之品，仪之质”，对于新老客户，我们将一如既往,恪守“服务至上”的承诺，与用户保持长期的合作，为用户提供放心的，满意的的产品。我们将凭借高效、高质的服务，高信任度的企业形象与广大用户共同发展！

由于（北京和同创业科技有限责任公司）的业务调整，原有的产品将逐渐由（南京舜仪实验设备有限公司）承接，所有服务和承诺不变。